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苹果Micro LED项目巨量检修陷瓶颈,欧司朗如何突围?
发布时间:2023-09-25浏览次数:11

    德国联邦政府和巴伐利亚邦正考虑支援艾迈斯欧司朗(ams-OSRAM),增加其里根斯堡厂的光电元件研发投资。

    根据外媒报导,欧司朗要求超过 3 亿欧元补贴,这将可创造 400 个新的高科技就业机会。该公司将利用这笔资金加大研发力度,建设新无尘室、实验室和试生产线。

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    这笔资金将用于支援多个项目,包括 UV-C LED、LiDAR 应用的 NIR 发射器、支援工业 4.0 应用的新元件及 Micro LED 显示技术。此外,欧司朗也开始在里根斯堡建一条 8 吋 Micro LED 晶圆试生产线。

    虽然欧司朗早在 2019 年就和苹果在实验室合作 Micro LED 项目,但制程上仍陷瓶颈。这款Micro LED 芯片尺寸约 8um,采垂直芯片结构,因此巨量检修难度相当高,欧司朗也为此头痛不已,加上 Micro LED 成本仍是一大考验,业界预期 Micro LED 搭载的 Apple Watch Ultra 手表,量产时间恐延至 2026 年第一季。

    欧司朗于 2021 年宣布投资 8.5 亿美元扩建马来西亚 Kulim 的 LED厂,计划在该地 8 吋晶圆厂上投产 Mini LED 和 Micro LED 芯片,预计明年量产,用于小尺寸设备。

    值得注意的是,欧司朗今年初也与半导体沉积设备领先供应商爱思强(Aixtron)宣布,爱思强的系统设备为下一代高分辨率 Micro LED 显示器铺平道路。其中,爱思强的 MOCVD 系统有望协助 Micro LED 批量生产。

    欧司朗称,这项全新工具是世界首款全自动 AsP 反应器,提供全自动「检测盒到检测盒」(cassette-to- cassette)晶圆装载以及基于原位蚀刻的清洁机制。这两个特性结合在一起会对成品率产生显著影响。此外,间歇式反应器技术还为爱思强系统带来了多项优势:其每片晶圆的生产成本在当前市场上属于最低级别,而单位洁净室面积输送量为最高级别。同时,该新工具拥有精确的流量和温度控制功能,能在连续运行时保持非常好的材料均匀性。

    目前这项设备能否解决瓶颈仍有待观察,不过欧司朗执行副总裁兼光电半导体业务负责人 Robert Feurle 表示,对于任务艰巨的项目,例如开发和生产适用于 AsP 和 GaN 元件的 Micro LED,爱思强正是欧司朗需要的合作伙伴。

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